用于化学机械抛光工艺终点检测的离线调试系统及方法

摘要

本发明公开了一种用于化学机械抛光工艺终点检测的离线调试系统及方法，该系统包括：数据读取模块，用于读取预先存储的电机功率数据，其中，电机功率数据为化学机械抛光设备抛光晶圆过程中抛光盘电机驱动器的电机功率信号；调试模块，用于根据电机功率数据确定终点捕捉窗口的参数值。该实施例的系统及方法可使工艺人员线下模拟终点检测过程，并有效调节运动窗口参数，进而在方便参数调试的同时，降低生产成本并提高生产效率。