具有垂直侧壁敏感层的红外探测器及其制备方法

摘要

本发明提供了一种具有垂直侧壁敏感层的红外探测器及其制备方法，通过在半导体衬底上形成至少一条鳍结构；在鳍结构侧壁可以采用离子注入形成敏感层；在鳍结构底部形成下电极层，下电极层与敏感层底部相接触；以及在鳍结构上方形成上电极层，上电极层与敏感层顶部相接触。本发明通过设置垂直侧壁敏感层来降低光刻对敏感层的影响，减小对敏感层的灵敏度的影响。