高灵敏度表面微小瑕疵光学检测装置及检测方法

摘要

本发明揭示了一种高灵敏度表面微小瑕疵光学检测装置及检测方法，所述检测方法包括：连续角扫描机构将准直入射光在一定的角度范围内进行连续角扫描；聚焦机构将以角度形式进行扫描的准直光束聚焦到一个平面上并将角度扫描转换成线扫描，将激光束聚焦到一个被测平面上并将聚焦激光点在平面上进行线扫描；经表面反射后的光束沿反射角进入反射光集光器，部分光被附在反射光集光器上的第二光电探测器接收，产生一个光电信号；第一集光器内壁涂有高反层，使散射光经多次反射后进入到第一集光器上的第一光电探测器，产生的光电信号对应表面散射。本发明提出的高灵敏度表面微小瑕疵光学检测装置及方法，可提高检测灵敏度及精确度。