公开/公告号CN105631082B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-02-05
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN201410717667.3
申请日2014-12-01
分类号G06F17/50(20060101);
代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人王宝筠
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2022-08-23 10:25:40
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-02-05
授权
授权
2016-06-29
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F17/50 申请日:20141201
实质审查的生效
2016-06-29
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F 17/50 申请日:20141201
实质审查的生效
2016-06-01
公开
公开
2016-06-01
公开
公开
机译: 利用连续尺度可制造性的连续可微性计算光刻模板可制造性的方法
机译: 用于可编程空间选择性纳米尺度表面功能化,自流微流体分析芯片和独立的微流体分析芯片的装置和方法
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