一种基于各向异性磁电阻效应的单轴MEMS加速度计

摘要

本发明公开一种基于各向异性磁电阻效应的单轴MEMS加速度计，所述单轴MEMS加速度计包括：晶圆框体，所述晶圆框体的内部空间为封闭的框室；支撑梁，所述支撑梁设置于所述框室内，且所述支撑梁的一端连接在所述框室的横框内壁上；检验质量块，所述检验质量块设置在所述支撑梁的另一端；磁源，所述磁源设置在所述框室的竖框内壁上；AMR芯片，所述AMR芯片安装于所述检验质量块上，所述AMR芯片的中心与所述磁源的中心在同一水平线上，使得所述AMR芯片的磁敏感方向与所述磁源的磁矩方向相同，且所述检验质量块的位移方向与磁矩方向在同一条直线上，以保证AMR芯片只感受到单一方向的磁场。本发明单轴MEMS加速度计可提高加速度的测量精度和测量范围。