一种SICM的相位调制成像模式扫描装置和方法

摘要

本发明涉及一种SICM的相位调制成像模式扫描装置，包括信号发生器、锁相放大器、膜片钳放大器、控制器、探针、XY纳米平台和Z向纳米压电陶瓷；所述信号发生器、膜片钳放大器、锁相放大器、控制器依次连接；所述信号发生器与锁相放大器连接，膜片钳放大器与探针连接；方法包括：信号发生器输出两路交流信号分别至锁相放大器、膜片钳放大器；调节膜片钳放大器的补偿电容值；锁相放大器提取电流分量，并将幅值反馈至控制器，控制器根据该幅值实时控制探针高度，实现样品的扫描。本发明仅提取某一频率下的交流分量作为反馈值，因此能克服直流模式下直流漂移、易受电气噪声影响等缺点；具有比传统交流模式更高的调制频率，因此可实现加快扫描的目的。