电子束诱导二次谐波的超分辨显微系统及测试方法

摘要

电子束诱导二次谐波的超分辨显微系统及测试方法，其中，至少设有真空腔室，所述真空腔室的两侧分别设置有入光窗口和出光窗口；该系统还包括激光器、第一反射镜、第二反射镜、基频滤光镜和探测器，所述激光器与第一反射镜位于所述入光窗口一侧，所述第二反射镜、基频滤光镜与探测器位于所述出光窗口一侧；所述真空腔室内部设置有扫描电子显微镜、扫描样品台、样品。本发明提供的电子束诱导二次谐波的超分辨显微系统及测试方法，在纳米分辨率内得到样品材料的载流子成像分布，可同时与样品的形貌特征进行对比，在同一测试环境中一次性实现，无需对样品进行移动，得出载流子的产生、分离和输运的时间分辨特性。