一种纳米薄膜的原子层沉积定量建模方法

摘要

本发明公开了一种纳米薄膜的原子层沉积工艺的定量建模方法，该建模方法以流体动力学理论为基础，包括以下步骤：(1)构建原子层沉积工艺进行的流体域结构模型；(2)初始边界条件设置；(3)有机金属化合物的理化属性计算；(4)多组分的气质传输过程设置；(5)表面化学反应设置；(6)瞬态脉冲工艺过程设置；(7)瞬态吹洗工艺过程设置；(8)获取定量反应和表面薄膜生长速率。按照本发明的建模方法，可定量描述表面沉积过程中的物质消耗和薄膜生长，适合用于材料利用率和薄膜沉积效率等相关因素分析，而该建模方法针对于原子层沉积工艺特征可普适于不同结构的原子层沉积系统。