法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-03-27
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C16/455 授权公告日:20160302 终止日期:20170307 申请日:20120307
专利权的终止
2016-03-02
授权
授权
2014-04-16
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/455 申请日:20120307
实质审查的生效
2014-03-19
公开
公开
机译: 气体注入装置,原子层沉积装置以及使用其的原子层沉积方法
机译: 气体注入装置,原子层沉积装置以及使用相同的在大气压力下实施沉积的原子层沉积方法
机译: 原子层沉积设备气体模块,原子层沉积设备和使用相同方法的原子层沉积方法