一种用于离子注入的激光辅助装置及离子注入方法

摘要

本发明公开了一种用于离子注入的激光辅助装置，包括：激光器、透光窗、调光组件，离子束对第一区域进行离子注入时，第二激光器对第二区域进行加热；离子束对第二区域进行离子注入时，第一激光器对第一区域进行加热；第一区域或第二区域离子注入完成后，调光组件通过控制对应激光束的光路改变已完成离子注入区域的位置。本发明通过设置两台激光器，透过透光窗对真空腔室内的样品进行加热，使样品表面对应区域达到离子束注入的指定温度，当对某一区域进行离子注入的同时，另一激光器可以对另一区域进行预热，两个激光器交替预热，大大提高了加热效率和离子注入效率，同时光斑定位精度高。