法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-23
授权
授权
2016-06-29
实质审查的生效 IPC(主分类):G01C21/18 申请日:20160219
实质审查的生效
2016-06-29
实质审查的生效 IPC(主分类):G01C 21/18 申请日:20160219
实质审查的生效
2016-06-01
公开
公开
2016-06-01
公开
公开
机译: 一种基于二次谐波的表征和驱动方法,该方法提高了品质因数并降低了间隙电子静电MEMS谐振器的馈通电流
机译: 一种基于二次谐波的表征和驱动方法,该方法提高了品质因数并降低了间隙电子静电MEMS谐振器的馈通电流
机译: 一种基于二次谐波的表征和驱动方法,该方法提高了品质因数并降低了间隙电子静电MEMS谐振器的馈通电流