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叠环离子淌度漂移管均匀给气装置

摘要

本发明属于叠环离子淌度给气技术领域,具体为一种叠环离子淌度飘移管给气装置。本发明包括进气口、储气腔、给气口、密封板、极板连接口;进气口包括进气嘴及外部导管;密封板包括密封圈凹槽、密封圈;外部给气通过进气口与内部储气腔连通;整个储气腔体内除给气口外,其他位置保持密闭状态,所有给气口均匀分布于储气腔与离子漂移区间,用以保证给气的均匀性。给气装置通过极板连接口与叠环极板相连接,此接口可根据需要调整。整个给气装置可以根据需要配合叠环极板结构,调整尺寸、极板连接口及给气量,且始终确保给气的均匀性。

著录项

  • 公开/公告号CN106356275B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-11-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 复旦大学;

    申请/专利号CN201610641192.3

  • 发明设计人 张权青;贾滨;黄元宇;杨芃原;

    申请日2016-08-08

  • 分类号

  • 代理机构上海正旦专利代理有限公司;

  • 代理人陆飞

  • 地址 200433 上海市杨浦区邯郸路220号

  • 入库时间 2022-08-23 10:21:17

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-11-13

    授权

    授权

  • 2017-11-14

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01J49/04 申请日:20160808

    实质审查的生效

  • 2017-11-14

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 49/04 申请日:20160808

    实质审查的生效

  • 2017-01-25

    公开

    公开

  • 2017-01-25

    公开

    公开

  • 2017-01-25

    公开

    公开

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