一种基于微纳光栅的多光谱红外滤光片阵列

摘要

本发明公开了一种基于微纳光栅的多光谱红外滤光片阵列，包括多个呈马赛克形式排列的光栅滤光片，每个光栅滤光片的结构由上到下依次为二维金属光栅层和基底结构层，二维金属光栅层的材料为金，基底结构层的材料为熔融石英；本发明制作工艺简单，光栅多参数的可调性，其可调谐波段范围宽，光谱中心波长准确率高，利用共振效应在工作波长处获得高的透过率，并结合具有高反射性的多层膜系设计结构以达到对旁带的抑制的目的，可实现透过不同中心波长、不同带宽的光栅滤光片，为建立新型光谱成像体制奠定基础，为微小型手持光谱仪及空间高动态多光谱成像提供技术支撑。