基于阵列滤光片的红外多光谱相机研究

目录

摘要

1绪论

1．1研究背景及意义

1．2长波红外成像光谱技术的发展历史及国内外研究进展

1．3成像光谱仪的发展趋势

1．4论文的主要内容及章节安排

2理论基础及系统设计

2．1光谱成像系统的基础理论

2．1．1光谱成像系统的工作原理

2．1．2光谱成像系统技术分析

2．2系统设计

2．2．1多光谱成像系统的指标要求、参数计算及材料分析

2．2．2光谱成像系统设计

2．2．3系统优化结果及评价

2．2．4微透镜阵列、阵列滤光片的结构设计及制作参数确定

3阵列滤光片设计

3．1基于微结构的阵列滤光片设计

3．1．1阵列微孔的滤光原理及仿真方式

3．1．2结构、材料对比和尺寸优化

3．1．3设计结果

3．2基于F-P腔的阵列滤光片设计

3．2．1 F-P干涉滤光理论基础

3．2．2材料选择

3．2．3单层膜工艺实验

3．2．4阵列滤光片的膜系设计

4阵列滤光片制作及测试

4．1基于微结构的阵列滤光片制作及测试

4．1．1飞秒激光法

4．1．2聚焦离子束刻蚀法

4．1．3光刻法

4．2基于F-P腔阵列滤光片的制作及测试

4．2．1组合套镀法实现腔层调控

4．2．2离子束辅助沉积制备窄带滤光片工艺

4．2．3滤光片测试及结果

5多光谱成像系统的搭建及验证

5．1仿真成像验证

5．2系统搭建及成像验证

5．2．1系统搭建

5．2．2成像验证

6结论与展望

6．1结论

6．2展望

参考文献

攻读硕士学位期间发表的论文及成果

致谢

声明

附录