一种周期极化LNOI脊型波导及其制备方法

摘要

本发明公开了一种周期极化LNOI脊型波导，整体结构从基底自下而上包括：硅或铌酸锂基底(5)、二氧化硅缓冲层(4)、金电极层(3)、半导体有机高分子层(2)和周期极化铌酸锂脊型波导(6)。与现有技术相比，本发明的技术效果包括：1)很大程度上降低了生产难度，提高了成品率；2)显著降低了波导的传输损耗；3)使多功能光电子器件的集成更容易实现；4)使器件获得更多的非线性效应；5)实现了PP‑LNOI波导和频、差频功能；6)为进一步设计和制作实用化的频率变换器件奠定基础，推动基于LNOI平台的集成光路和器件向实用化方向迈进，为下一代光电混合集成芯片的研发提供支撑。