公开/公告号CN105453217B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-11-20
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201480036787.5
发明设计人 麻里乌斯·格雷戈尔;
申请日2014-06-24
分类号
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 10:20:43
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-20
授权
授权
2016-07-06
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20140624
实质审查的生效
2016-07-06
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20140624
实质审查的生效
2016-03-30
公开
公开
2016-03-30
公开
公开
机译: 使用反馈控制流量比控制器的方法和系统
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