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用于控制使用反馈的流量比控制器的方法和系統

摘要

本发明公开一种处理装置,该处理装置确定多个初始的流量设定点命令,多个设定点命令的每一设定点命令对应到多个阀门中的一个阀门。处理装置发送多个初始的设定点命令的每一初始的设定点命令至多个阀门中的相对应的阀门。处理装置接收来自多个阀门中的每一阀门的反馈,并基于来自多个阀门中的每一阀门的该相对应的反馈来确定多个更新的流量设定点命令,多个更新的流量设定点命令的每一更新的流量设定点命令对应到多个阀门中的一个阀门。

著录项

  • 公开/公告号CN105453217B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-11-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 应用材料公司;

    申请/专利号CN201480036787.5

  • 发明设计人 麻里乌斯·格雷戈尔;

    申请日2014-06-24

  • 分类号

  • 代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;

  • 代理人徐金国

  • 地址 美国加利福尼亚州

  • 入库时间 2022-08-23 10:20:43

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-11-20

    授权

    授权

  • 2016-07-06

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20140624

    实质审查的生效

  • 2016-07-06

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20140624

    实质审查的生效

  • 2016-03-30

    公开

    公开

  • 2016-03-30

    公开

    公开

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