一种强交换偏置效应FeMn合金纳米薄膜的制备方法

摘要

本发明公开一种强交换偏置效应FeMn合金纳米薄膜的制备方法，属于金属纳米薄膜制备领域。先制备出尺度为纳米量级的FeMn合金自由团簇，然后在团簇腔内经过碰撞、冷凝和结核的过程，FeMn合金自由团簇变成FeMn合金支撑团簇，FeMn合金支撑团簇在清洁平整的衬底表面附着，在衬底表面完成FeMn合金团簇组装，得到具有纳米结构的FeMn合金纳米薄膜。本发明提供的制备方法，该方法采用团簇束流沉积法使团簇以“软着陆”的方式积淀成FeMn合金纳米薄膜，减小了内部应力的生成，实现团簇组装，获得特定结构，实现纳米粒子尺寸和成分的选择和控制，制备的FeMn合金纳米薄膜具有较大的交换偏置效应、平整致密且密度大的优点。