一种在卷对卷过程中制备薄膜型太阳能电池吸收层的组合式反应器

摘要

提供了一种由一个加热单元、一个冷却单元，以及一系列模块化缓冲单元所组合而成的卷对卷反应器。它的长度可根据所要求的反应时间和连续性柔性工件的传输速度而通过增加或减少模块化缓冲单元的数量加以调节。反应器包含一个由一系列模块化热控部件组合而成的反应炉，该炉被安装在一个真空密封的反应室中。反应炉的温度可通过加热元件、冷却元件及热电耦的组合而精准控制。反应器能够被用于对覆盖于柔性基板之上的不同先导层在真空和惰性或反应性气体的气氛中于室温到一千摄氏度的温度下实施退火和反应。此反应器对于通过一个连续性的卷对卷过程在柔性基板上制备诸如铜铟镓硒和碲化镉之类的薄膜太阳能电池是尤为有用的。