中间掩模透射率测量方法、投影曝光装置及投影曝光方法

摘要

中间掩模透射率测量方法、投影曝光装置及投影曝光方法。在初次使用中间掩模时，将中间掩模实际装入装置中，进行斜向测量/随机测量，由此，即使不增加采样数，也能够避免成为偏差采样的危险性，取得作为总体的中间掩模整体的中间掩模透射率。此外，使通常固定的计测光点尺寸可变，并进行与该计测光点尺寸对应的入射角度变更，由此，也能够得到相同的效果。