公开/公告号CN106079557B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-10-16
原文格式PDF
申请/专利权人 海克恩系统有限公司;
申请/专利号CN201610454682.2
发明设计人 赖纳·布舒尔特;
申请日2012-11-21
分类号
代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司;
代理人李静
地址 以色列雅夫内
入库时间 2022-08-23 10:18:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-10-16
授权
授权
2016-12-07
实质审查的生效 IPC(主分类):B31B1/04 申请日:20121121
实质审查的生效
2016-12-07
实质审查的生效 IPC(主分类):B31B 1/04 申请日:20121121
实质审查的生效
2016-11-09
公开
公开
2016-11-09
公开
公开
机译: 用于在真空处理系统中移动装置的运输系统,包括相同的基板处理系统和操作运输系统的方法
机译: 具有多个处理站的工厂中的基板运输系统具有基板载体,该基板载体具有至少两个流道,通过该流道可以将其支撑在辊道上并在整个工厂中移动
机译: 在水平链式输送材料处理系统中,将运输单元从水平链式运输系统转移到另一个运输系统的方法以及将运输单元从其主线路转移到另一侧的方法