一种薄层材料方块电阻和连接点接触电阻测试方法

摘要

本发明涉及一种薄层材料方块电阻和连接点接触电阻测试方法，包括：在薄层材料的表面安装至少四个电极；对所述电极之间的电阻进行测量；根据理论模型，从测量的所述电极之间的电阻、和所述电极之间的距离计算所述薄层材料的方块电阻和电极接触电阻。本方法的主要特点是简单方便，是一种薄层材料方块电阻和电极接触电阻的无损检测方法，对电极分布没有严格要求。