公开/公告号CN105470205B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-09-07
原文格式PDF
申请/专利权人 上海天马有机发光显示技术有限公司;天马微电子股份有限公司;
申请/专利号CN201510990543.7
申请日2015-12-24
分类号
代理机构北京品源专利代理有限公司;
代理人孟金喆
地址 201201 上海市浦东新区汇庆路889号
入库时间 2022-08-23 10:16:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-09-07
授权
授权
2016-05-04
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/98 申请日:20151224
实质审查的生效
2016-05-04
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/98 申请日:20151224
实质审查的生效
2016-04-06
公开
公开
2016-04-06
公开
公开
机译: LTPS-TFT(低温多晶硅硅薄膜晶体管)的氧化物绝缘层和柔性结构的制造过程
机译: 薄膜晶体管阵列基板,低温多晶硅薄膜晶体管以及制造低温多晶硅薄膜晶体管的方法
机译: 薄膜晶体管阵列基板,低温多晶硅薄膜晶体管以及制造低温多晶硅薄膜晶体管的方法