高速垂直发射单片集成型直接调制DFB激光器及制作方法

摘要

本发明公开了一种垂直发射的单片集成型直接调制DFB激光器及其制作方法。本发明采用源增益区和无源波导区对接的模式形成了高质量的超短光学谐振腔结构，从而提高了高调制频率的直接调制DFB激光器的可靠性和光谱的质量。另外，本发明利用无源波导区形成的45度反射面实现激光的垂直发射，克服现有技术中由于激光器侧面出光而不能实现的发射高密度的并行光互联的技术问题。同时本发明利用折射率和增益耦合叠加的λ/4相移光栅配合脊型波导实现激光器良好的高速调制性能。另外，本发明利用单片集成工艺制作激光器，可以实现小尺寸、高度集成化以及高密度的光互联。