高速直接调制DFB激光器

摘要

本实用新型属于光电子器件领域，本实用新型公开了一种高速直接调制DFB激光器包括：级联的DFB节和无源腔反馈节，DFB节和无源腔反馈节均为脊波导结构，两个脊之间刻蚀有电隔离槽；所述DFB节从下而上依次设置有第一衬底、第一下缓冲层、光栅层、下分别限制层、有源层、上分别限制层、第一上缓冲层、第一停止腐蚀层、第一包层和第一覆盖层，在第一覆盖层上设有第一电极；所述无源腔反馈节从下而上依次设置有第二衬底、第二下缓冲层、波导芯层、第二上缓冲层、第二停止腐蚀层、第二包层和第二覆盖层，在第二覆盖层上设有第二电极。本实用新型提供的DFB半导体激光器相对于普通脊波导结构的DFB半导体激光器的调制带宽更大。