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一种石墨烯带状电子注场发射冷阴极及其生产方法

摘要

该发明属于石墨烯带状电子注场发射冷阴极及其生产方法。冷阴极包括基片及其上的金属膜电极,各石墨烯场发射体及设于其间及顶层的绝缘介质加强层;生产方法为:基片的处理、石墨烯薄膜的制备、金属膜电极的设置、石墨烯的转移、单层及多层石墨烯带状电子注场发射冷阴极的制作。该发明设置金属膜电极、采用石墨烯作冷阴极的发射体,发射端通过切割而成,在外加电场下会产生极强的尖端效应,既有利于提高发射电流、又可有效地降低场发射阴极的工作电压;因而具有可有效降低带状电子注冷阴极的开启场和阈值场,发射电流大、功率高,电子注发射稳定性好、体积小,以及生产工艺简单、生产效率高并可确保器件性能的一致性,易于工业化生产等特点。

著录项

  • 公开/公告号CN106098503B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-08-21

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 电子科技大学;

    申请/专利号CN201610564355.2

  • 申请日2016-07-18

  • 分类号H01J1/304(20060101);H01J19/24(20060101);H01J35/06(20060101);H01J9/02(20060101);

  • 代理机构51203 电子科技大学专利中心;

  • 代理人詹福五

  • 地址 611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号

  • 入库时间 2022-08-23 10:15:46

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-03-06

    专利权的转移 IPC(主分类):H01J1/304 登记生效日:20200217 变更前: 变更后: 申请日:20160718

    专利申请权、专利权的转移

  • 2018-08-21

    授权

    授权

  • 2016-12-21

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01J1/304 申请日:20160718

    实质审查的生效

  • 2016-11-09

    公开

    公开

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