半导体存储器件和采用镶嵌位线工艺制造该器件的方法

摘要

一种半导体存储器件，包括具有栅极和和在栅极两侧的接触焊盘的硅衬底；形成在衬底上的层间绝缘层，包括露出相应接触焊盘的存储结接触和位线接触，和包括凹槽形位线图形；形成在存储结接触中的存储结接触栓；和与位线图形一起形成的镶嵌位线，其通过位线接触与露出的相应接触焊盘连接。