法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-03
授权
授权
2016-06-15
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B21/32 申请日:20151208
实质审查的生效
2016-03-23
公开
公开
机译: 具有测量头的坐标测量装置的校准方法,涉及在相对于要校准的坐标测量装置的坐标轴的测量空间中布置基准体。
机译: 用于确定测量对象处的测量点的空间坐标的设备,基于沿Y轴和Z轴方向的基准面之间的距离,检测框架装置沿X轴方向的旋转误差
机译: 缺陷坐标测量装置,缺陷坐标测量方法,掩模的制造方法以及基准掩模