一种花瓣形表面结构的可控温加热盘

摘要

一种花瓣形表面结构的可控温加热盘，主要解决现有的加热盘及静电卡盘所存在的无法快速、准确控制晶圆温度的问题。它包括中心设有进气孔的加热盘。所述加热盘的表面制有花瓣形布局的气体流动径向沟槽，在加热盘中心的一个圆形空间设有中心稳流区。所述加热盘设计有圆形空间边缘稳流区及设有的气体回收孔。所述的加热盘外圆的沟槽设计成开放式或封闭式。本发明通过合理化设计的表面气体分布结构，使得导热介质能够直接、快速、均匀的分布在加热盘与晶圆之间，并依据介质流动所带来的压力及流速变化规律确定各个区域大小或沟槽尺寸，来调节导热介质所带走的热量，以实现对晶圆温度的快速准确控制。可广泛应用于半导体薄膜沉积应用技术领域。