可分别对双镶嵌工艺的中介窗与沟槽进行表面处理的方法

摘要

本发明提供一种利用具有倾斜角度的电浆来分别针对双镶嵌工艺的中介窗的底部与沟槽的表面进行表面处理的方法，其能达到在中介窗与沟槽刻蚀工艺后针对中介窗底部的刻蚀残留物和/或金属表面氧化物进行移除，以及对沟槽表面进行表面处理，来避免可能产生的电性不佳与增加沟槽表面与阻障金属层的附着力之目的，进而解决通常技术里无法针对中介窗与沟槽分别进行表面处理的缺点。