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氮化锌膜、触摸屏盖板及膜的制备方法、应用

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本发明公开了一种氮化锌膜、触摸屏盖板及膜的制备方法、应用。氮化锌薄膜的制备方法包括下述步骤：以氮气作为溅射气体和反应气体，用锌靶反应溅射形成氮化锌薄膜；反应溅射的工作气压为2×10

著录项

公开/公告号CN106048526B

专利类型发明专利
公开/公告日2018-07-13

原文格式PDF
申请/专利权人上海科比斯光学科技有限公司;
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申请/专利号CN201610341169.2
发明设计人陈君;李涛;
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申请日2016-05-19
分类号
代理机构上海弼兴律师事务所;
代理人薛琦
地址 200233 上海市徐汇区桂平路418号1601B室
入库时间 2022-08-23 10:14:21

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-07-13

授权

授权
2016-11-23

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/08 申请日:20160519

实质审查的生效
2016-10-26

公开

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