固体潤滑剤の基礎と応用：CNx膜（窒化炭素膜）軸受実用化のための応用研究

摘要

固体潤滑剤は，高湿や高真空中など一般の潤滑油が使えない場所で用いられる。このような固体潤滑剤では，低摩擦のために，材料の表面エネルギーが小さい材料が選択されるため，基板との付着強度は弱くなる。 そのため，硬質薄膜の極表面が相手面に対して低せん断強度を有すれば，耐久性があり，かつ低摩擦の摺道面システムが実現できる。 すなわち，耐摩耗·低摩擦を無潤滑で実現させるためには，高硬度でかつ低摩擦である新材料の開発が必要である。 このような硬質被膜材料の一つとしてカートボン系の材料がある。