法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-16
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C16/36 申请公布日:20170818 申请日:20160104
发明专利申请公布后的视为撤回
2017-10-03
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/36 申请日:20160104
实质审查的生效
2017-08-18
公开
公开
机译: 金属碳氮化物膜或半金属碳氮化物膜的制造方法,金属碳氮化物膜或半金属碳氮化物膜的制造装置,金属碳氮化物膜或半金属碳氮化物膜
机译: 金属碳氮化物膜或半金属碳氮化物膜的制造方法以及金属氮化碳膜或半金属碳氮化物膜的制造装置
机译: 黑磷/金属有机骨架改性碳氮化膜复合材料及其制备方法及其在废气处理中的应用