机译:等离子离子浸渍加工技术沉积的碳碳氮化膜中碳含量的依赖性
机译:光学性能和硬度对通过等离子体离子浸没处理技术沉积的碳氮化硅膜中碳含量的依赖性
机译:用氨基硅烷和硅氮烷前体远程氢等离子体化学气相沉积硬硅碳氮化型薄膜涂层。 2:沉积薄膜的物理,光学和机械性能
机译:通过远程微波等离子体CVD从有机硅前体中氮化碳硅:沉积的Si:C:N膜的物理和机械性能
机译:活性直流磁控溅射沉积碳氮化硅薄膜的结构和光学性能
机译:用微波ECR等离子体反应器沉积氢化非晶碳膜的膜性能和沉积过程的研究。
机译:碳浓度对中频溅射沉积高硬度等离子聚合物氟碳薄膜的影响
机译:等离子体浸泡离子加工合成的金刚石状碳膜的光学和摩擦学特性
机译:等离子浸没离子法合成类金刚石薄膜的光学和摩擦学性能