用于使用平面内掠入射衍射进行表面标测的方法和装置

摘要

一种通过位置敏感检测器使用平面内掠入射衍射检查晶体样本的表面的装置。x射线源照射样本的一个延伸区域，并且对于晶体的具有适当晶格取向的区段，产生一个细长的衍射信号。然后可以改变样本和x射线束的相对位置以照射样本的不同区域，使得衍射信号对应于这些其他区域。通过扫描整个样本，可以生成样本表面的空间走向。所述系统可以用来定位样本表面上的晶体边界、缺陷或者衰减材料的存在。