微机械谐振器的振动控制方法及微机械谐振器

摘要

本发明公开了一种微机械谐振器的振动控制方法及微机械谐振器，包括：衬底，以及设置于衬底上的振动结构和驱动结构；其中，驱动结构用于驱动微机械谐振器的振动结构往复运动，并在振动结构往复运动的同时，生成作用在振动结构上、且促进振动结构的往复运动的促进静电力，以及生成作用在振动结构上、且制约振动结构的往复运动的制约静电力，以使得振动结构在往复运动中由静电弹簧软化效应产生的频率偏移和由静电弹簧硬化效应产生的频率偏移之间相互抵消，进而控制微机械谐振器工作在其固有频率，提高了微机械谐振器工作时的稳定性。