法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-06-26
授权
授权
2015-09-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/768 申请日:20150601
实质审查的生效
2015-08-26
公开
公开
机译: 无催化剂的低温基质生长石墨烯的制备方法,无催化剂的低温基质生长石墨烯和无催化剂的低温基质生长的石墨烯制造装置
机译: 无催化剂的低温基质生长石墨烯的制备方法,无催化剂的低温基质生长石墨烯和无催化剂的低温基质生长的石墨烯制造装置
机译: 无催化剂的低温基质生长的石墨烯的制备方法,无催化剂的低温基质生长的石墨烯和无催化剂的基质生长的石墨烯的制造装置