提升晶圆离子植入剂量比例的离子布植方法与系统

摘要

本发明提出一种提升晶圆离子植入剂量比例的离子布植方法与系统，以让离子束仅仅扫描部分的晶圆的方式来达到高对比剂量布植。本发明所述方法包括：提供晶圆与离子束，该晶圆有至少一个布植区域与至少一个非布植区域；以及以至少一个横向移动步骤使该离子束扫描该晶圆，其中所述横向移动步骤使该离子束仅扫描通过所述布植区域而不会扫描通过所述非布植区域。