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一种实现M相二氧化钒纳米线择优取向排列生长的制备方法

摘要

本发明公开了一种实现M相二氧化钒纳米线择优取向排列生长的制备方法。本发明通过优化脉冲激光沉积技术方法实现了二氧化钒纳米线的择优取向排列生长。通过选择激光器和靶材,选择衬底,溅射通过简单的温度、氧压和沉积时间得到长度不同的VO

著录项

  • 公开/公告号CN105568233B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-06-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中山大学;

    申请/专利号CN201511034533.2

  • 申请日2015-12-31

  • 分类号

  • 代理机构广州市深研专利事务所;

  • 代理人姜若天

  • 地址 510275 广东省广州市新港西路135号

  • 入库时间 2022-08-23 10:13:09

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-06-15

    授权

    授权

  • 2016-06-08

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/34 申请日:20151231

    实质审查的生效

  • 2016-05-11

    公开

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