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通过在浮区结晶单晶体生长单晶体的方法

摘要

通过从浮区结晶单晶体来生长单晶体的方法,所述浮区经感应加热以及所述结晶单晶体在旋转方向旋转,且所述旋转方向根据交替方案间隔性地反转,其特征在于:所述单晶体由于旋转方向的反转而处于静止状态期间的停留时间被限制到不超过60ms。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-06-19

    授权

    授权

  • 2016-07-27

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B13/00 申请日:20151216

    实质审查的生效

  • 2016-06-29

    公开

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