一种基于CUDA技术的直写式光刻机图像数据按位压缩方法

摘要

本发明涉及一种基于CUDA技术的直写式光刻机图像数据按位压缩方法，与现有技术相比解决了CPU的像素压缩技术无法适用于光刻领域特征图像的缺陷。本发明包括以下步骤：数据预处理和初始化；GPU预处理；分配内存；数据复制；启动通用并行计算处理；压缩结果的合并；将压缩之后的数据拷贝至CPU的Host端。本发明通过GPU利用CUDA技术进行并行化处理，提高了计算效率，增加了直写式光刻机的产能，同时降低了数据规模，GPU压缩处理后再将压缩数据传给CPU，减少了对CPU计算能力及传输带宽的依赖。