法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-06-05
授权
授权
2015-06-24
专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L21/265 变更前: 变更后: 登记生效日:20150608 申请日:20130213
专利申请权、专利权的转移
2015-02-18
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/265 申请日:20130213
实质审查的生效
2015-01-07
公开
公开
机译: 碳掺杂气体和共流,用于改善注入束和源寿命性能
机译: 碳掺杂气体和共流,用于改善注入束和源寿命性能
机译: 用于在碳注入期间延长离子源寿命并改善离子源性能的组合物