MEMS加速度传感器性能参数标定方法、处理器及系统

摘要

本申请提供了一种MEMS加速度传感器性能参数标定方法、处理器及系统，驱动闭环控制转动平台对待测MEMS加速度传感器进行重力场下的360度转动多点定位，获得其输入轴加速度、输出轴加速度、摆轴加速度和实际输出量，再利用其预设模型方程，获得期望输出量后，对该期望输出值和实际输出值进行最小二乘法拟合运算，获得待测MEMS加速度传感器的各项模型参数，使模型参数中待测MEMS加速度传感器的偏值和标度因数中均不包含待测MEMS加速度传感器的二次非线性系数、三次非线性系数、交叉耦合灵敏度和交叉耦合系数，且解决了现有技术中标准传感器自身精度限制对最终标定结果精度的影响，大大提高了系统的标定精度以及标定效率。