具有集成的热变形和振动补偿驱动器的主动补偿模块

摘要

本申请涉及具有集成的热变形和振动补偿驱动器的主动补偿模块。本申请公开了一种主动补偿装置。根据本发明的示例性实施方案的主动补偿装置设置在加工产品安装部分和平台之间，并包括：主体，其中形成有容纳空间；设置在容纳空间的内侧的MR驱动器，并且所述MR驱动器的阻尼力根据MR流体的粘度的变化而变化；和磁致伸缩驱动器，其设置在容纳空间的外侧，并且包括磁致伸缩元件，该磁致伸缩元件由于磁力发生长度位移。