PRESSURE SENSORS; OPTICAL MEASURING INSTRUMENTS; MACH-ZEHNDER INTERFEROMETERS; WAVEGUIDES; BROADBAND; OPTICAL FIBERS; MICROMACHINING; TEMPERATURE MEASUREMENT; TEMPERATURE COMPENSATION; PRESSURE MEASUREMENT;
机译:集成光学微机械压力传感器,具有频谱编码的输出和温度补偿
机译:基于微机的湿度传感器,带有集成温度传感器,用于信号漂移补偿
机译:铝膜作为温度传感器在补偿硅压阻压力传感器输出热位移中的应用
机译:具有模拟片上线性化和温度补偿功能的单片集成表面微机械压力传感器
机译:微加工的光学询问压力传感器和传感器阵列。
机译:基于差分输出的温度补偿方法和温度传感器的谐振压力微阻
机译:具有0.8μm的CMOS集成表面微机动电容式压力传感器,具有EEPROM修剪和用于轮胎压力监测系统的数字输出
机译:带有微机械隔膜的集成光学干涉仪,用于压力传感