法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-05-15
授权
授权
2016-09-28
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F19/00 申请日:20160411
实质审查的生效
2016-08-31
公开
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机译: 一种微机械结构的制造方法以及使用这种方法制造的微机械结构
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