用于气体集成输送系统的质量流量控制装置、系统及方法

摘要

本发明公开了一种适用于集成气体输送系统的质量流量控制装置，包括输入端、输出端、传感器单元、流量控制阀以及控制单元。控制单元包括A/D转换器、微处理器和阀控制电路。A/D转换器将输入端接收的实际设定信号转换为第一数字信号，将传感器单元输出流量检测信号转换为第二数字信号。微处理器包括存储模块、设定信号校准模块和计算模块。存储模块存储表征目标设定信号和所述实际设定信号的固有误差值的修正参数；设定信号校准模块根据修正参数对第一数字信号进行修正；计算模块根据修正后的第一数字信号以及第二数字信号的偏差进行运算以产生控制信号。阀控制电路根据控制信号产生开度控制信号以控制流量控制阀。本发明能够提高流量控制精度。