工艺流程的变更方法、对变更的工艺流程进行监控的方法

摘要

本发明涉及工艺流程的变更方法及对变更的工艺流程进行监控的方法。所述工艺流程的变更方法包括：对晶片组进行预分批，以得到若干晶片批次；根据当前的变更申请选择可适用所述变更申请的晶片批次，所述晶片批次的晶片包括基准晶片；从所选择的可适用所述变更申请的晶片批次中选择除所述基准晶片以外的变更晶片，以获取晶片组分批结果；基于所述晶片组分批结果执行所述工艺流程。本发明能够降低工艺流程的变更重复率和变更成本。