首页> 中国专利> 缩小尺寸的共振隧穿场效应晶体管

缩小尺寸的共振隧穿场效应晶体管

摘要

实施例包括异质结隧穿场效应晶体管,所述异质结隧穿场效应晶体管包括源极、沟道和漏极;其中,(a)所述沟道包括与沟道长度相对应的长轴,以及与沟道宽度相对应并且与所述长轴正交的短轴;(b)所述沟道长度小于10nm长;(c)对所述源极进行掺杂使其具有第一极性,并且所述源极具有第一导带;(d)对所述漏极进行掺杂使其具有与所述第一极性相反的第二极性,并且所述漏极具有第二导带,所述第二导带比所述第一导带具有更高能量。本文描述了其它实施例。

著录项

  • 公开/公告号CN104854703B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-05-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 英特尔公司;

    申请/专利号CN201380061009.7

  • 申请日2013-06-27

  • 分类号H01L29/78(20060101);H01L21/336(20060101);

  • 代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;

  • 代理人陈松涛;王英

  • 地址 美国加利福尼亚

  • 入库时间 2022-08-23 10:10:54

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-05-08

    授权

    授权

  • 2015-09-16

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L29/78 申请日:20130627

    实质审查的生效

  • 2015-08-19

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号