法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-02-19
专利权的转移 IPC(主分类):E04G21/16 登记生效日:20190125 变更前: 变更后: 申请日:20160715
专利申请权、专利权的转移
2018-05-04
授权
授权
2018-01-16
著录事项变更 IPC(主分类):E04G21/16 变更前: 变更后: 申请日:20160715
著录事项变更
2017-01-04
实质审查的生效 IPC(主分类):E04G21/16 申请日:20160715
实质审查的生效
2016-12-07
公开
公开
机译: 晶圆运输系统,使用该晶圆运输工厂的半导体制造厂结构以及一种晶圆运输方法,能够最大程度地提高集成度
机译: 晶圆运输容器内部大气测量设备,晶圆运输容器,晶圆运输容器内部清洁设备以及晶圆运输容器内部清洁方法
机译: 晶圆运输集装箱内部气氛测量装置,晶圆运输容器,晶圆传输容器内部清洁装置,以及晶圆运输容器内部清洁方法