用于光伏器件或类似等的多晶硅厚膜及制备其的方法

摘要

一种制备多晶硅膜的方法，包括：在基片上沉积含有镍的催化剂层，并沉积镍纳米粒；将所述催化剂层和所述纳米粒暴露至硅烷气；以及在所述暴露至硅烷气的至少一部分时间期间将涂有所述催化剂层和所述纳米粒的所述基片热处理，在所述基片上生长含有硅的膜。